Sıvı Akış Sensörü

İsveçreli sensör üreticisi Sensirion'un yeni sıvı akışı sensörü, ultra saf malzemeleri ve üstün hassasiyeti öne çıkıyor. Küçük SLQ-QT500 sensörü yarı iletken endüstrisinin ihtiyaçları için dizayn edilmiştir. SLQ-QT500 yarı iletken endüstrisinin yüksek saflık gereksinimleri için idealdir. Kaplama işlemlerini değişik sıvılarla denetlemek için kullanılabilir ve optimum süreç güvenliği sağlar. SLQ-QT500, 0dan - 120ml/dk'ya kadar akış oranlarını kapsar. Tüm Sensirion sıvı akışı sensörlerinde olduğu gibi, akış kanalı tamamen düzdür ve oynar parçası yoktur. Sensör, patentli CMOSens® Teknolojisi temellidir. Mikrotermal akış ölçümü, çipi ölçülen sıvıdan ayıran akış kanalı yoluyla yapılır. Bu yüzden, sadece PFA tüpleri ve kuartz akış kanalının sıvıyla doğrudan teması vardır. Bu, sensorun üstün kimyasal dirence sahip olacağını garantiler. RS485 dijital ara yüzü ve bu özellikler sayesinde duyar, 1ms 'a kadar olan örnek aralığında üstün güvenilirlikli ölçüm yapma kabiliyetine sahiptir. Bu özel teknoloji sayesinde çok yüksek viskoziteye (100,000 cP ve fazlası) sahip sıvılar bile problem teşkil etmez. Sensör, TARC ve H2O2 gibi su bazlı sıvılar kadar fotorezistler gibi hidrokarbon bazlı çözücüleri ölçmek için de uygundur. SLQ-QT500; partikül içeren sıvıların ve neredeyse her viskozitedeki sıvıların ölçümünü yapabilir. Bu da söz konusu sensörü, sıvı akışı sensörü endüstrisinde çok önemli özelliktir.