Kütle Akış Denetleyiciler

OEM kullanıcılar için Axetris tarafından tasarlanan kütle akış denetleyici modülleri 50 x 48 x 25 mm’lik boyuta sahiptir. Gaz kromatografisi, termal analiz, bioreaktör, film kaplama (sputtering) CO2 lazer ve daha nice uygulama için idealdirler. MFC 2022 model modüller birden fazla gazla ve birden fazla aralıkta çalışabilir. MEMS tabanlı bir yapıya sahip olup gaz akış denetiminde basınç darbeleri gibi parazitlerin olduğu durumlarda bile yüksek hassasiyet ve hızlı tepki zamanı sunarlar. Hava, nitrojen, oksijen, argon, karbon dioksit, helyum ve hidrojen gazları için tedarik edilebilinen denetleyiciler, 10 ila 3000 sccm (tam erim nitrojen karşılığı) arasında akış hızları için uygundurlar. Yeni akış kanalı tasarımıyla MFC 2020 son derece düşük akış aralıklarını hassasiyet ve kararlılıkla ölçüp denetleyebilir. Dinamik ölçüm aralığı muhtelif gazların ve akış aralıklarının tek bir cihaz tarafından desteklenmesini sağlar. Her iki model de dijital RS-232 ve analog ara yüzlerle standart olarak donatılmıştır. LabView tabanlı yazılım araçları MFC 2022’nin kolayca yapılandırılmasına olanak tanır. Bu yolla gaz ve tam erim akış aralıkları, referans durum değişiklikleri, filtre ve denetleme parametreleri, tam erim akış aralığının uygulamaya özel ölçeklendirilmesi gibi tanımlamalar gerçekleştirilebilinir.