Basınç Sensörleri

Rezonant silikon RPT serisini birkaç yıldan beri kullanıma sunan GE Measurement & Control Solutions, üniversiteler ile birlikte bu tip sensörler üzerinde gerçekleştirdiği geniş ar-ge faaliyetleri sonucunda TERPS (Trench Etched Resonant Pressure Sensor) teknolojisini geliştirdi. Bu teknolojiye sahip ilk basınç sensörleri olma özelliğine sahip RPS 8000 ve DPS 8000 mevcut piezoresistive basınç sensörlerine oranla 10 kat daha fazla hassasiyet ve kararlılık sunmalarının yanı sıra RPT sensörlerinden daha geniş basınç aralığına sahiptir. Sensörler özel uygulama gereksinimlerine cevap verebilecek geniş elektrik ve basınç konektör seçenekleri ile birlikte gelir. Yeni sensörler basınç ortamından metal yalıtım diyaframı ve yağ ile doldurulmuş bir odacık sayesinde yalıtıldığı için zorlu ortamlara uygun son derece sağlam yapıya sahiptir. Rezonant silikon sensörlerin tüm özelliklerini taşımak ile birlikte 70 bar seviyesine kadar basınç kapasitesi ve -40 ila 85 °C çalışma sıcaklık aralığı sunarlar. Yeni cihazların işleyişi RPT sensörler ile temelde aynıdır. Silikon yapı elektrostatik alana tabi tutulduğunda rezonansa girer ve diyaframa basınç uygulandığı zaman silikon rezonatör gitar tellerine benzer bir şekilde esneyerek frekans farkına yol açar. Frekanstaki değişiklik basınçtaki ile doğrudan alakalıdır. RPS 8000 ve DPS 8000 çıkışları itibariyle birbirinden farklılaşır. Tümleşik mikro işlemciye sahip DPS 8000 dijital çıkış sunan RS485/RS232 ara yüzlerine sahiptir. Buna karşılık RPS 8000 TTL frekans çıkışı ve tümleşik ısı diyotu sayesinde mV sıcaklık ölçümü sunar. Bu sensör yüksek hassasiyetli, kararlı basınç ölçüm özelliğini kullanmak isteyen OEM ve sistem geliştiriciler için idealdir.